Lam Research predstavlja najnapredniju tehnologiju u industriji etchiranja

Lam Research Corp. predstavio inovaciju Akara® za jetkanje plazmom

Fremont, Kalifornija – 19. veljače 2025. Lam Research Corp. (NASDAQ: LRCX) je danas predstavio Akara®, revolucionarni alat za jetkanje plazmom koji postavlja nove standarde u industriji. Ova inovacija donosi napredne tehnologije obrade plazme koje omogućuju dosad neviđenu preciznost i performanse potrebne za proizvodnju 3D čipova.

Akara: Nova era u jetkanju plazmom

Akara se pridružuje bogatom portfelju proizvoda Lam Researcha, pružajući rješenja koja omogućuju proizvođačima čipova da se suoče s najizazovnijim problemima u industriji. Rješenje je posebno važno u kontekstu sve veće potražnje za sofisticiranim poluvodičima i arhitekturalnim inovacijama u čipovima.

Tehnološke karakteristike Akare

DirectDrive® tehnologija: Akara koristi Lam-ovu inovativnu DirectDrive tehnologiju koja omogućava plazmu koja se generira brže nego ikada prije, s 100 puta bržim reakcijama nego prethodne tehnologije. Ovo rezultira manjim oštećenjima uzoraka, osobito u kontekstu ekstremne ultraljubičaste (EUV) litografije.

Pulsiranje plazme: Akara takođe donosi jedinstvenu sposobnost kontroliranja vrsta plazme kroz pulsiranje, što omogućuje nove razine selektivnosti i performansi mikroalovanja. Ova funkcionalnost je ključna za postizanje atomskih razmjera u stvaranju značajki.

SNAP sustav: Ovaj sustav za kontrolu energije iona omogućava oblikovanje profila etch s atomskom preciznošću, čime se osigurava dosljednost i kvalitetu u proizvodnji.

Primjena i prednosti

Akara omogućava široku primjenu u različitim poluvodičkim uređajima, uključujući GAA (Gate-All-Around) tranzistore, 6F² DRAM i 3D NAND uređaje. To je ključno za optimizaciju procesa jetkanja, koji će omogućiti formiranje složenih 3D struktura s preciznošću na razini angstrema.

Ova inovacija dolazi u trenutku kada globalna potražnja za poluvodičima i dalje raste, a proizvođači čipova se suočavaju s izazovima kako bi zadovoljili sve komplimentarnije arhitekture uređaja.

Reakcije industrije

Sesha Varadarajan, stariji potpredsjednik Globalne grupe za proizvode u Lam Research, naglašava važnost ove tehnologije: "Akara je generacijski skok prema naprijed u sposobnostima etch-a, koji će pomoći u oblikovanju malih, složenih struktura potrebnih za 3D eru čipsa."

Mnogi vodeći proizvođači uređaja već su prepoznali potencijal Akare, birajući je kao alat za proizvodnju naprednih planarne drame i GAA aplikacija, što dodatno potvrđuje njen značaj.

Održavanje i produktivnost

Dizajniran za visok volumen proizvodnje, Akara optimizira izlaz vafela s vremenima odziva u milisekundama. Inovativne kontrole ujednačenosti jetkanja jamče ponovljivost procesa, a integracija s Lamovim Oprema Intelligence® Rješenjima smanjuje ukupne troškove održavanja.

Budućnost poluvodičke industrije

Lam Research je nedavno također najavio ALTUS® Halo, prvi svjetski alat za taloženje atomskog sloja molibdena, čime je dodatno naglašena posvećenost kompanije inovacijama potrebnim za prilagodbu nadolazećim promjenama na tržištu poluvodiča.

Dakle, s Akara inovacijom, Lam Research nastavlja učvrstiti svoj položaj lidera u industriji, pružajući rješenja koja jamče da će proizvođači čipova biti spremni suočiti se s izazovima i potrebama sutrašnjice.